TY  - BOOK
ED  - International conference on microlithography
ED  - Consiglio Nazionale delle Ricerche
ED  - Università degli studi di Roma "Tor Vergata"
TI  - ME: microcircuit engineering 91 : International conference on microlithography, September 17-19, 1991, Roma : abstract booklet 
PY  - 1991///
CY  - [S.l.]
PB  - [s.n.]
N1  - Bibliografia
ER  -