TY  - BOOK
AU  - Arnold,Heinrich
TI  - Chemische Dampfablagerung
SN  - 9783112587959
PY  - 2022///]
CY  - Berlin, Boston : 
PB  - De Gruyter, 
KW  - NON-CLASSIFIABLE
KW  - bisacsh
N1  - Frontmatter --; VORWORT --; Inhaltsverzeichnis --; 0. EINFOHRUNG --; 1. DIFFUSIONS- UND REAKTIONSKINETIK BEI EINSEITIGEM REAKTIONSABLAUF --; 2. GRUNDLEGENDE VERFAHRENSVARIANTEN UND MODELLRECHNUNGEN ZUM STOFFOBERGANG SOWIE ZUR SCHICHTDICKENHOMOGENITÄT --; 3. ABLAGERUNG BEI ZWEISEITIGEM REAKTIONSABLAUF --; 4. DOTIERUNG UND STÖCHIOMETRIEPROBLEME --; LITERATUR VERZEICHNIS --; SYMBOL VERZEICHNIS --; SACHVERZEICHNIS --; Der Autor; restricted access
UR  - https://doi.org/10.1515/9783112587966
UR  - https://www.degruyter.com/isbn/9783112587966
UR  - https://www.degruyter.com/document/cover/isbn/9783112587966/original
ER  -