| 000 | 01031nam a2200229 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 109141 | ||
| 003 | IT-RoAPU | ||
| 005 | 20240322124042.0 | ||
| 008 | 041012s1991 xx a |000 u eng c | ||
| 040 |
_aIT-RoAPU _bita _cIT-RoAPU |
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| 084 | _aQ 111.M51 | ||
| 111 | 2 |
_aInternational conference on microlithography _d(1991 : _cRoma) _9194272 |
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| 245 | 1 | 0 |
_aME : _bmicrocircuit engineering 91 : International conference on microlithography, September 17-19, 1991, Roma : abstract booklet / _corganized by Università di Roma - Tor Vergata and Consiglio Nazionale delle Ricerche. |
| 260 |
_a[S.l.] : _b[s.n.], _cstampa 1991 _e(Roma : _fF.lli Palombi). |
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| 300 |
_a[293] p. in varie sequenze : _bill. ; _c21 cm. |
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| 504 | _aBibliografia. | ||
| 710 | 2 |
_aConsiglio Nazionale delle Ricerche _ecuratore _1http://viaf.org/viaf/132004367 _92774 |
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| 710 | 2 |
_aUniversità degli studi di Roma "Tor Vergata" _ecuratore _1http://viaf.org/viaf/147596887 _963261 |
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| 740 | 0 | _aMicrocircuit engineering 91. | |
| 850 | _aIT-RoAPU | ||
| 942 |
_cBK _00 |
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| 999 |
_c109141 _d109141 |
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